第一八一章 3D堆叠

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王岸然很清楚，光刻机想在短时间取得突破，可能性几乎为零。
　　浸入式光刻机技术也是渺茫，双工台的难度等级甚至比光刻机还要难。
　　可以预见的是，依靠先进设备提升工艺几乎不可能。
　　王岸然现在要做的，就是在现有的设备条件下，如何提升制造工艺。
　　这并不是不可能的，多重曝光，对准双重成像技术sadp都能有效的提升工艺水平。
　　当然王岸然的目标不仅仅如此，finfet技术只是开始，既然在单面积平面上集成的晶体管数量无法达到世界行业水平，那么只能在空间上想想办法。
　　晶体管的空间堆叠就是方向之一，也就是俗称的3d晶体管。
　　在普通人眼中，3d晶体管是非常高大上的技术，事实上这项技术也是非常高大上。
　　简单来说，3d晶体管就是搭积木一样，将氧化层、半导体层、金属层一层一层的堆叠，形成各种逻辑电路。
　　在实际操作中就是在已经蚀刻好的晶体管电路上涂上保护层，然后用物理气相沉积法，或者其他物理化学处理办法。
　　在保护层上，再沉积一层材料，对沉积的材料进行光刻、蚀刻、清洗等工序，完成后再重复这样的过程。
　　由于工序的显著增多，加上上下层之间的电路很多是相通的，这就引来两大技术难点。
　　其一就是每一道工序都有一定的概率出现误差，叠加之后，误差会有显著的放大效应，直接结果就是良品率急剧下降。
　　而第二，就是王岸然要跟安德森要谈的内容了，华芯科技需要德州仪器提供高精度光电对准技术。
　　王岸然当天晚上与华芯科技主要的技术，管理高层开会。
　　会上，王岸然要求各技术主管将目前，以及远期将要遇到的技术难题逐条整理，经过王岸然整理之后，一共有十二大项，一百七十八项技术难题。
　　这是要拿来谈判的。
　　雷布斯进入华芯科技的时间很短，还没有建立起自己的威信，在会议上也没有多说话。
　　不过在会后，他来到王岸然的办公室。
　　王岸然热情的给他泡了一杯茶，说道：“雷，感觉怎么样？”
　　“王总，我来是向你汇报工作的。”
　　王岸然做到雷布斯的斜对面，说道：“如果在你的职责范围之内，就不用汇报了，你拿主意，把处理结果放在月报里就行。”
　　这该是多大的信任啊，雷布斯心底一阵暖流，想想自己在两年前还是一个普通的程序猿，而现在，已经是全过最大的高科技公司的ceo。
　　这起飞速度，已经完全不是坐直升飞机了，而是火箭速度。
　　自己现在在行业里的地位，已经和仇老大不相上下，甚至还有所超越，这一切都是眼前这个人给他的。
　　更不用说，自己还有0.5%的华芯科技股票期权，如果自己顺利熬过这五年的话，自己手里的股份至少值五千万美元。
　　这对雷布斯来说，同样具有非常大的吸引力，所以，他必须全力以赴。

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